SEMI-F47 对于供电系统,电压瞬降要求和预防措施
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来源： 未知
发布日期：2020-12-25
一般而言，工业过程设备对电压暂降特别敏感, 在对于电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅敏感的微电脑自动控制设备造成伤害（如数据丢失，控制器报错），也会使得制程中断，而产生极大的损失;
SEMI F47 中规定半导体生产工艺设备、子系统和元器件在经历下列描述的电压暂降时仍能继续工作。半导体制程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.2秒， 电压为70%标称值时为0.5秒、电压为80%标称值时为1秒。（见特性曲线图）
SEMI F47 --电压瞬降测试特性规范表：
SEMI F47 --电压瞬降避免危害设备的预防措施：
1. 通常电压瞬降会引起PLC, 伺服驱动器，变频器，工控机，接触器（可能由于控制触点的电压变化，导致电力切断），电脑主机，显示屏，互锁单元以及控制单元的报错、切断或者数据丢失。
2. 对于采用开关电源提供能量的回路（如PLC, 显示屏，控制单元，互锁单元），我们在选择这些器件的电源时，应选择宽电压的电源（如110V-240V的宽电压电源），其次电源应选择符合电压暂降要求的电源（EN 61000-6-2，EN 61000-4-11），尽量选择符合SEMI F47标准的电源。
3. 对于直接接入强电的器件（如伺服驱动器，变频器，工控机，电脑主机），同样应选择本身为宽电压供电的器件（如110V-240V的宽电压电源），其次电源应选择符合电压暂降要求的电源（EN 61000-6-2，EN 61000-4-11），尽量选择符合SEMI F47标准的电源。
4.对于伺服驱动器和变频器，本身器件内部有许多自身保护措施，如电压跌倒50%， 器件本身就会保护并报错停机，所以在设置这些器件的内部保护参数时，要依据SEMI F47的电压暂降时间来设定，确保按照SEMI F47进行电压暂降试验时，设备不会停机报错。
5. 对于工控机，电脑主机等对电压暂降比较敏感的器件，为了防止电压暂降引起数据丢失或者系统报错，可以在设备中增加UPS电源，把这些敏感器件接入UPS电源，避免这些器件受到电压暂降的影响。
6. 另外可以在总的输入端安装动态电压调节装置（DVR）, 该装置可以在1~2毫秒之内产生补偿电压，抵消系统电压所受干扰，使负荷侧电压感受不到扰动，保证了敏感负荷，计算机负荷的安全可靠运行。
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