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SEMI S2
SEMI S2规定了产品基于性能的最低安全要求,涵盖了各种潜在健康和安全隐患,如机械、电气和化学,电离和非电离辐射,地震、通风、环境和人体工程学等。
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SEMI认证的重要性
国际半导体协会SEMI 制定的S系列标准对半导体制造行业的安全和可持续发展具有深远和重要的影响力。符合SEMI标准要求成为主流芯片制造商引进机台设备的主要判别安全标准,国际晶圆厂家均要求设备及子系统厂商提供SEMI认证证书。SEMI认证得到国际晶圆大厂Intel、TSMC、SMIC等普遍认可,中国半导体设备厂商AMEC 、SMEE等众多设备均已通过SEMI认证。SEMI认证已成为国际通行并被产业链广泛认可的通行证。
 
SEMI S2标准主要内容
SEMI S2 标准涵盖了半导体制造设备的环境、健康及安全条件,是一个综合性的标准。
标准确保设备本身安全及对环境、对人员的安全性,认证中综合考虑了与设备相关的使用者文件、危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、化学物质加热槽、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、化学品安全、游离辐射安全、非游离辐射安全、激光安全、噪音等内容。
 
SEMI S2 认证流程和周期
S2现场测试及评估提前2周左右预约(国外专家提前一个月左右),完成后一周内发NCR,所有整改及文件完成后, 2周左右签发报告和证书。
 
SEMI S2认证需要准备的主要文件:
根据SEMI标准要求,需要针对厂家、产品、说明书、气路图、电路图等内容详细准备,同时需要有英文版资料。
工程师收到后,出具初步的认证方案及计划,同时在现场收集资料之后,客户提供的信息将在报告撰写阶段作为参考。
所需内容包括但不限于:
(1)客户信息(中英文)
(2)产品信息(铭牌):生产厂名、地址、商标、产品名称、型号、生产序号、生产日期、电气规格等。
(3)产品说明书:应包含:
用户手册(工作原理、基本信息、配电要求、物理环境、化学品、警示标志、维修保养、安全防护、安全锁等)
安装资料(示意图、电源线及各导线规格及装配说明、需要客户提供的辅助关键配件、安装环境和场地要求等)
(4)设备图纸:
电气原理图、系统结构图、气体/液体路径图、通风系统工程图、界面操作指南等相关图纸。
(5)关键物料清单:
i.系统材料清单
ii.关键元器件清单;
iii.环境基本资料,包含设备消耗的能量描述,非有意的化学泄漏,如导气管,加热腔有微小泄漏时,能否被监测到,如何处理,用什么来监控的…
iv. 废气排放的监测,处理方法建议
(6)Interlock 清单
 
注:所有资料提供中、英版,同时考虑目标客户母语;
 
SEMI 认证现场图
 
 
SEMI 认证资质
一般由具有资质和能力的独立第三方检测认证机构进行认证。SEMI协会也会对相关检测认证机构评进行评估,认可其人员资质、技术能力、设备条件、流程管理能够承担SEMI评估职责后发出认可资质证书。一般来讲,进行测试和评估的人员需要满足:机械,电子电气,工程,职业卫生等相关领域教育背景,具有半导体设备行业的从业经验,如设计,架构设计和风险分析等。
 
 
 
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