1.风险评估的目的
 

1. 通过风险评估鉴别危害。 SEMI S10提供了对半导体设备及泛半导体行业设备进行风险评估的架构，风险评估的结果提供给预期使用者，作为EHS的参考。
2. 使用这个安全基准进行风险评估，目的是为了提出对策来控制风险。

 
2.风险评估的方法
   风险评估技术有许多种方法，如风险矩阵法，故障树分析（FTA）的，事件树分析（ETA），危险和可操作性研究（HAZOP）和故障模式效应分析（FMEA） 。运用不同的风险评估技术都可以从中识别设备中存在的风险，并根据这些风险来控制风险。

3.风险评估的程序
图1显示了基本的风险评估和控制的过程。
风险评估，应在设备正在评估阶段执行以确定和评估潜在的危险。风险评估应在初期设计和更新阶段就开始，至设计完成。   
 
 
 
4.风险评估矩阵
 
风险等级
 
 
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