标准介绍：
 
任何半导体制造设备在制造、包装、运送、安装、使用、维修与废弃过程中使用的电力及原料都需要消耗能源，因此，在寿命周期内减少能源的使用可以改善半导体制造设备对环境的影响。SEMI S23作为半导体制造设备的能源、电力与原料节约分析的工具，提供了使用率及耗量降低的方法，并提出了改善的建议。
 
流程：
 
 
 
参考标准：
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization
SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
 
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