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静电产生的主要原因
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接触分离
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摩擦起电
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感应起电
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静电的危害
静电具有一定的隐秘性、积累性、复杂性和随机性,当静电现象发生时,静电会在半导体设备和器件中隐藏存在,随着工作时间的延长、工作量的增多,静电量会越积越多,进而加剧灰尘的依附性,长久以往,会降低设备的使用寿命。静电放电后,会对器件产生强烈的电攻击,被电击后的器件如果不进行及时的修复,可能导致器件的永久伤害。
半导体制造工厂,存在易燃化学品,静电放电后,会导致静电作为起火源,引起化学品的燃烧甚至爆炸发生。
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静电限值要求
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