SEMI S7- SEMI S2标准对评估机构的资格要求
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来源： 原创
发布日期：2023-05-18
在半导体制造设备国产替代的趋势下，SEMI S2标准认证也被越来越多的制造商关注。原因是SEMI S2报告是半导体制造设备合规性的证明文件，也是用户验收机台的必要文件之一。
SEMI针对SEMI S2标准的评估验证机构制定了专门的标准SEMI S7，其中对执行评估的机构和人员都做了明确的定义，今天我们再来研读SEMI S7对评估机构和人员的要求，让设备商在选择时不迷路。
SEMI S7 - 评估人员和评估公司资格的安全指南
SEMI S7- SAFETY GUIDELINE FOR EVALUATION PERSONNEL AND EVALUATING COMPANY QUALIFICATIONS
一. 定义
1. 认可实验室：政府或监管机构认可的有能力根据既定安全标准进行评估的专业的器件，设备或系统检测独立机构。
accredited testing laboratory ATL — an independent organization dedicated to the testing of components, devices, or systems that is recognized by a governmental or regulatory body as competent to perform evaluations based on established safety standards.
2. 评估人员：评估机构的代表，参与制造设备的评估的人员
evaluation personnel — personnel (e.g., employees or subcontractors) who, as agents of the evaluating company, participate in the evaluation of manufacturing equipment.
3. 评估公司：检查ME设备的机构，并确定设备是否符合SEMI的文件的标准。
evaluating company — the party examining ME and making a finding as to whether the ME conforms to the criteria of a SEMI ‘S’ Document.
二. 评估公司的资格
SEMI S2要求评估公司的资格，主要还是和体系及人员相关，具体声明内容如下：
1. 质量体系资格证明,比如ISO，检测实验室的资质证书。
2. 人员专业知识的培训与协调
3. 组织结构描述，及关联公司的关系
4. SEMI组织及适用标准的参与
5. 技术问题的解释
6. 公司对人员提供的支持和技术专业知识的方法
7. 项目过程中的文件保护与备份，项目完成后的处理及销毁说明
如果评估公司是一家ATL(认可实验室)，那么会有监管机构对实验室的设备、人员、测试方法、文档管理等各方面用体系标准ISO17025来进行控制和监督，所以设备商可以通过检查实验室的资质证书和能力附件表中是否具有SEMI 的相关标准来进行资质确认。这是一个比较容易鉴别能力的方法。
常见的实验室认可机构有美国的NVLAP，A2LA，中国的CNAS等实验室认可组织。SEMI 常见标准包括SEMI S2, S6,S8,S10,S22等。
以下举例为A2LA的证书及认可标准：
三. 人员资格
当评估公司满足以上要求后，进行评估的人员还需要具有专业资质，SEMI S2，SEMI S26等S系列标准列举了以下14个专业领域，分别为：
1） Electrical 电气
2） Safety Circuits 安全回路
3） Fire Protection 防火
4） Liquid Chemical Heating 液体加热
5） Mechanical Movement 机械运动
6） "Robotics – Automated material handlers" 自动搬运
7） Structural Seismic 抗震
8） Ergonomics 人体工学
9） Chemical Control 化学
10） Ventilation 排风
11） Ionizing Radiation 电离辐射
12） Non-Ionizing Radiation 非电离辐射
13） "Optical and Laser Radiation"激光
14） "Energy/Utility Measurement"能耗
对应的人员资格：
1. 教育及培训资格：电子工程，化学工程，机械工程，消防工程等相关教育及培训
2. 证明文件：工程师资格证，或者
3. 经验：具有设备合规性设计经验，或者SEMI及相关标准的安全评估经验
综上所述，选择评估公司，请先查验该公司体系证书或证明文件，内容中一定要包含SEMI S标准；其次是评估人员是否专业相符，有同类设备的评估经验。如选择不能满足SEMI S7规定的评估公司，不仅会导致金钱和时间的损失，还有可能会出现设备发生事故最终导致不可接受的巨大风险。
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