台湾媒体报道,台湾南部科学园区于7月27日傍晚发生了电力瞬间电压下降的情况,造成园区内包括台积电半导体制造厂商受到影响。
根据台积电、联电等相关厂商的回应显示,南科厂区傍晚发生短暂降压的情况,没有完全停电,经过调校后,发生问题的机台已逐步恢复正常,对生产影响有限,对营运则无影响。但有爆料称,台积电5nm及4nm产线或出现晶圆报废的情况。
对于电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害,也会使得制程中断,而产生极大的损失。为了能保护您敏感的设备能够免于电压瞬降的危害,对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求。
在 SEMI F47-0706 中规定半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级,以50Hz为例,电压为50%标称值时为10周、电压为70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受,相较F47-0200增加推荐的电压瞬降的耐受时间或强度,在电压为0%标称值时为1周,电压为80%标称值时为500周。